وحدة Coxem -200 SEM، التي تبلغ دقة تكبيرها 300,000 مرة وجهد متغير (5-30 كيلو فولت). تبلغ دقة هذا النظام أقل من 3 نانومتر. وهو مجهز بمحلل أشعة سينية مشتت للطاقة للبحث عن مورفولوجيا السطح. يمكنه إجراء تحليل نقطي وخطي ورسم خرائط. يغطي العدد الذري في نطاق 6-102.
