المبخر الحراري التفريغي VCM-600
يمكن أن يصل المبخر الحراري التفريغي VCM-600 إلى 10-5 ملي بار ويحتوي على مرفق محوسب لمراقبة وزراعة الأغشية الرقيقة في نطاق سمك يتراوح بين 1.0 و1000 نانومتر. يتم تزويد النظام بركيزة ذات درجة حرارة عالية. يمكن إنتاج مساحة إجمالية تبلغ 20 × 20 سم2.